Tetra 150

Niederdruck-Plasmaanlagen

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Die Tetra 150 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:

  • Archäologie
  • Automotive
  • Biotechnologie
  • Elastomertechnik
  • Elektrotechnik
  • Elektronenmikroskopie
  • Feinwerktechnik
  • Forschung und Entwicklung
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Solarzellentechnik
  • Textiltechnik

Verschiedene Modelle

Modell 1

Modell 1, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr: 
MFC

Modell 2

Modell 2, Standardanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier,
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 3

Modell 3, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 2.100 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier,
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 4

Modell 4, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 2.100 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier,
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 5

Modell 5, Plasmapolymerisationsanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 2.100 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr:
Nadelventil

Modell 6

Modell 6, Plasmapolymerisationsanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 2.100 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 600 mm)
Gaszufuhr:
Nadelventil

Technische Daten

Grundausstattung

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 150 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 mm x H 600 mm x T 625 mm)
  • Alukammer rechteckig (ca. B 400 mm x H 600 mm x T 625 mm)

Beladung

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerungen

  •     PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  •     PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)

Druckmessung

  • Pirani
  • Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)

Timer

  • in PC integriert

Generatoren

Frequenzen:  

  • 80 kHz: Leistung 1000 oder 3000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

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