Ashing

Termine italiano: "incenerimento". Riduzione degli strati di idrocarburi mediante acidatura al plasma. I polimeri vengono disgregati in frammenti, essi stessi allo stato gassoso o in grado di reagire con specie attive del plasma diventando molecole gassose, aspirate poi dalla pompa per vuoto. Rilevante in campo industriale è principalmente l’incenerimento del materiale fotoresistente nella tecnologia dei semiconduttori.

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