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NiederdruckplasmaPlasmasystem Pico

Flexible Konstruktion im Baukastensystem für Labor und Industrie

Mit einem Volumen von 4 - 8 Litern eignet sich die Anlage ideal für die Plasmareinigung, Oberflächenaktivierung, Plasmaätzung und Plasmabeschichtung unterschiedlichster Bauteile.

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Prozessvolumen bei kompakter Bauweise

Mit einem Kammervolumen von 4 - 8 Litern steht ausreichend Platz für unterschiedlichste Anwendungen zur Verfügung. Das Plasmasystem Pico kann sowohl als Tischgerät als auch als Standanlage gebaut werden und lässt sich flexibel in bestehende Labor- oder Produktionsumgebungen integrieren.

Je nach Anforderung stehen als Steuerungsvarianten eine halbautomatische, ein Low Cost PC- oderBasic PC-Steuerung bis hin zur Full PC-Steuerung zur Auswahl. Letztere ermöglicht die individuelle Konfiguration von Prozessen, die Archivierung von Prozessdaten, Alarmlisten sowie die Anbindung an ein MES. Dadurch werden Plasmaprozesse transparent, reproduzierbar und vollständig dokumentierbar.

Das Pico-Plasmasystem eignet sich für die Reinigung, Aktivierung, Ätzung und Funktionalisierung von Oberflächen verschiedenster Materialien und findet Einsatz in Laboren, Entwicklungsabteilungen sowie industriellen Fertigungsprozessen.

Reinigen

Die Niederdruckplasma Anlage Pico bietet Lösungen für die Feinstreinigung aller Oberflächen, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Die Plasmareinigung entfernt alle organischen Rückstände ohne das Bauteil chemisch oder thermisch zu belasten.

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Aktivieren

Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche. Die Plasmaaktivierung der Niederdruckplasma Anlage Pico schafft polare Bindungspartner und erhöht die Oberflächenenergie.

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Beschichten

Die Niederdruckplasma Anlage Pico kann Oberflächen auch durch eine Beschichtung modifizieren. In einer Plasmabeschichtung können hydrophobe, hydrophile, Schutz- oder Isolierschichten jeglicher Art abgeschieden werden.

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Ätzen

Die Plasmatechnik der Niederdruckplasma Anlage Pico ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Dadurch entstehen Nanostrukturierungen von Oberflächen zu deren Vergrößerung und Haftungsverbesserung.

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4 - 8l Kammer

Die Plasmaanlage Pico ist mit einem Kammervolumen von 4 - 8l ausgestattet, welches optimal für umfangreichere Bauteile aus der Industrie geeignet ist. Für Anwendungen die eine hohe Reinheit fordern stehen Kammern aus Borosilikat- oder Quarzglas zur Verfügung. Diese überzeugen mit einer chemischen Beständigkeit, die hohe Prozessreinheit verspricht. Bei bestimmten Anwendungen steht auch eine Drehtrommel, für eine gleichmäßige Behandlung zur Auswahl. Damit kann die Plasmaanlage Pico in Anwendungen in der Medizintechnik oder Laborarbeiten eingesetzt werden. Für Anwendungen in der Industrie stehen Edelstahl- oder Aluminiumkammern zur Verfügung, die besonders sichere und stabile industrielle Prozesse gewährleisten. 

Modulares Baukastensystem

Durch Jahre an Erfahrung und bewiesenen Konzepten erstellte Diener electronic ein einzigartiges modulares Baukastensystem, nach dem die Plasmaanlage Pico flexibel konstruiert werden kann. Um ein einfaches Integrieren in eine bestehende Produktionsumgebung zu ermöglichen, kann die Plasmaanlage Pico in einem kompakten Tischgehäuse oder stabilem Standgehäuse gebaut werden. Die Kammergröße entscheidet über die Wahl des Gehäuses sowie dem passenden Steuerungselement dazu. Das Ergebnis ist eine maßgeschneiderte Produktionsanlage für die Industrie mit anspruchsvollen Anwendungen.

Steuerung

Für die kompakte Bauweise der Pico im Tischgerät stehen die LowCost, Basic PC und die übersichtliche Halbautomatische Steuerung zur Auswahl. Bei der Halbautomatischen Steuerung sind die Prozessparameter von Hand einstellbar, sodass die Bedienung keine Vorkenntnisse benötigt. Für die Industrie ist ein robustes Standgehäuse mit einer einfacheren Low Cost oder Basic PC Steuerung mit voreingestellten Prozessen gut geeignet. Für anspruchsvolle Produktionsumgebungen steht die Wahl einer Full PC Steuerung zur Verfügung. Mit ihr sind Archivierungen der Prozesse, Alarmlisten, und Netzwerkanbindungen gegeben. Transparenz der Prozesse und deren Rückverfolgbarkeit schaffen die Basis für eine effiziente und wirtschaftliche Produktion.

Technische Daten

Gehäuseabmessungen

Tischgerät

Breite
540 mm
Höhe
510-775 mm
Tiefe
600-800 mm

Standgerät

Breite
600 mm
Höhe
1910 mm
Tiefe
800 mm

Steuerung

Halbautomatisch

Low Cost PC (Windows CE)

Basic PC (Windows CE)

Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)

Vakuumkammer

Edelstahl, Scharniertüre
⌀ 150 mm x T 319 mm; Volumen ca. 6 Liter

Edelstahl, Scharniertüre
B 160 mm x H 160 mm x T 325 mm; Volumen ca. 8 Liter

Aluminium, Scharniertüre
B 150 mm x H 160 mm x T 325 mm; Volumen ca. 8 Liter
Optional: Tiefe variabel erweiterbar bis zu max. 3000 mm

Quarzglas, Scharniertüre
⌀ 130 mm x T 300 mm; Volumen ca. 4 Liter

Borosilikatglas, Scharniertüre
⌀ 130 mm x T 300 mm; Volumen ca. 4 Liter

Generator

40,00 kHz | Leistung 0 - 200 W

100,00 kHz | Leistung 0 - 500 W

13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W

2,45 GHz | Leistung 0 - 300 W

Gaszufuhr

Nadelventil

MFC (Mass flow controller)

Elektrode

Nach Kundenwunsch

Druckmessung

Pirani Sensor

Kapazitätsmanometer

Spannungsversorgung

230 V | 16 A

400 V | 16 - 125 A

Technische Änderungen vorbehalten.

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FAQ Häufig gestellte Fragen

Kann die Kammertüre während des Betriebs geöffnet werden?

Unter normalen Umständen nein, der Unterdruck des Vakuums zieht die Türe an das Kammergehäuse.

Was kann mit der Pico alles behandelt werden?

Mit der Pico von Diener electronic können alle Materialien die vakuumbeständig sind behandeln werden.

Kann mit der Pico temperaturempflindliche Bauteile behandelt?

Ja, da es sich um ein kaltes Plasma handelt, ist die Niederdruckplasmaanlagen Pico von Diener electronic geeignet für temperaturempfindliche Bauteile.

Können ESD-empfindliche Bauteile mit der Pico behandelt werden?

Ja, mit Niederdruckplasma der Pico ist dies möglich. Auf Anfrage kann einen Versuch in unserer Prozessabteilung durchgeführt werden.

Welche Oberflächen kann mit der Plasmaanlage Pico aktiviert werden?

Mit der Plasmaanlage Pico von Diener electronic lassen sich folgende Oberflächen wie Kunststoffe, Metalle, Gläser, Keramiken und Textilien aktivieren.

Ist das Plasmasystem Pico für Dauerbetrieb geeignet?

Alle Standard- und Sondersysteme für die Industrie, wie die Pico von Diener electronic sind auf Dauerbetrieb ausgelegt und werden von den Servicetechniker in regelmäßigen Abständen auf Funktionalität gewartet.

Wie hoch ist die typische Prozesstemperatur bei der Pico in der Vakuumkammer?

Bei der Pico von Diener electronic liegt normalerweise die Temperatur bei Raumtemperatur bis ca. 80 °C - in Abhängigkeit von Bauteil, Kammerart, Prozesszeit und der Beladungsmenge. Höhere Temperaturen können auf Anfrage bei Diener electronic mittels Heizelemente erreicht werden.

Welche Anbindungsmöglichkeiten in Bezug auf die Software-Steuerung ist bei dem System Pico möglich?

Mit der Full PC-Steuerung hat das Plasmasystem Pico von Diener electronic folgende Anbindungsmöglichkeiten wie: 

  • übergeordnete Steuerungen z.B. mittels Profinet 
  • MES-System z.B. über OPC UA 
  • Datenbankanbindung über ODBC 

Kann die Steuerungs-Software beim Plasmasystem Pico auf unsere Anforderungen geändert werden?

Auf Wunsch passen wir von Diener electronic die Full PC-Steuerung der Modellreihe Pico an. Sprechen Sie uns bitte diesbezüglich an.

Sind Abluftfilter nötig?

Ja, alle Anlagen müssen zwingend an eine gute Abluft angeschlossen werden, vollkommen egal welches Gas verwendet wird! Es entstehen Stickoxide, Abgase, feine Öl-Nebel (bei Öl Pumpen), usw., welche nicht eingeatmet werden dürfen, zudem sind die Gase oft sauer, somit begünstigen sie das Rosten von umliegenden Teilen, Maschinen, Anlagen.

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