Die Pico Plasmaanlagen können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Pico Plasmasystemen. Die Pico Systeme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik (REM, TEM)
- Archäologie
- Automotive
- Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Sensorik
- Sterilisieren
- Textiltechnik
Plasmaprozesse
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
Ätzen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.
Beschichten von Werkstoffen
Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.
Technische Daten
Grundausstattung
- Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät 400 V / 3 Phasen für Standgerät
Gaszufuhr
- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm ) oder
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 160 mm x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm)
- Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. ∅ 160 mm x 160 mm, L 325 mm oder L 600 mm)
- Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
- Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE
Steuerung
- Halbautomatik
- Basic PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- Full PC-Steuerung (Windows 10 IoT)
Druckmessung
- Pirani
- Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)
Timer
- Digital
Generatoren
Frequenzen:
- 40 kHz: Leistung 0 - 200 W; 0 -1000 W
- 100 kHz: Leistung 500 W
- 80 kHz: Leistung 1000 W
- 13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W
- 2,45 GHz: Leistung 0 - 300 W
Alle Generatoren sind sufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage
