Tetra 45

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

Die Tetra 45 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 45 Plasmasystemen.

Die Kammer mit den Maßen: 125 mm Höhe und 572 mm Breite eignet Sie sich besonders für großflächige Werkstücke. Dank der Kammer aus Aluminiumstrangpressprofil kann die Länge flexibel gestaltet werden.

 

  • Analytik (REM, TEM)
  • Archäologie
  • Automotive
  • Biotechnologie
  • Elastomertechnik
  • Elektrotechnik
  • Elektronenmikroskopie
  • Feinwerktechnik
  • Forschung und Entwicklung
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Solarzellentechnik
  • Textiltechnik

verschiedene Modelle

Modell 1

Modell 1, Standardanlage
Drehschaltersteuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr: 
Nadelventil

Modell 2

Modell 2, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 3

Modell 3, Standardanlage
FULL PC Steuerung (Windows 10 IoT) in Grundgerät Typ A
(B 850 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 4

Modell 4, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
Drehschaltersteuerung in Grundgerät Typ A
(B 850 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr:
Nadelventil

Modell 5

Modell 5, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 850 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier
(B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 6

Modell 6, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
FULL PC Steuerung (Windows 10 IoT) in Grundgerät Typ A
(B 850 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier
(B 572 mm x T 650 mm x H 125 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Möglichkeiten der Plasmabehandlung

Reinigen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.

MEHR ÜBER DIE REINIGUNG

Aktivieren von Werkstoffen

Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.

MEHR ÜBER DIE AKTIVIERUNG

Ätzen von Werkstoffen

Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.

MEHR ÜBER DAS ÄTZEN

Beschichten von Werkstoffen

Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.

MEHR ÜBER DAS BESCHICHTEN

Technische Daten

Grundausstattung

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: Variiert je nach Kammerlänge
  • Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 572 mm, H 125 mm (Tiefe Variabel)

Beladung

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Aluminumblech, Edelstahlblech

Steuerungen

  •     PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  •     PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)

Druckmessung

  •     Pirani
  •     Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)

Timer

  • Digital

Generatoren

Frequenzen:

  • 80 kHz: Leistung 1000 W oder 3000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W; 0 - 1200 W

 

 

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage

Anwendungen + Branchen

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