Tetra 30

NIEDERDRUCK-PLASMAANLAGEN (PLASMACLEANER)

ANFRAGE STARTEN   Datenblatt (PDF)

Die Tetra 30 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:

  •     Analytik (REM, TEM)
  •     Archäologie
  •     Automotive
  •     Biotechnologie
  •     Elastomertechnik
  •     Elektrotechnik
  •     Elektronenmikroskopie
  •     Feinwerktechnik
  •     Forschung und Entwicklung
  •     Halbleitertechnik
  •     Kleinserienfertigung
  •     Kunststofftechnik
  •     Medizintechnik
  •     Mikrosystemtechnik
  •     Solarzellentechnik
  •     Textiltechnik
0 %

Verschiedene Modelle

Modell 1

Modell 1, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr: 
MFC

Modell 2

Modell 2, Standardanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 3

Modell 3, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 4

Modell 4, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 5

Modell 5, Plasmapolymerisationsanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Modell 6

Modell 6, Plasmapolymerisationsanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier
(B: 305 mm, T: 370 mm, H: 300 mm)
Gaszufuhr:
MFC

Technische Daten

Grundausstattung

  •     Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  •     Kammervolumen: je nach Version 34 - 57 Liter
  •     Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern

  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 305 mm, H 300 mm x T 370 mm oder 625 mm)
  • Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 305 mm, H 300 mm x T 370 mm oder 625 mm)

Beladung

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  •     Ein- oder Mehretagen
  •     RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerungen

  •     Basic PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  •     Full PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)

Druckmessung

  •     Pirani
  •     Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)

Timer

  • in PC integriert

Generatoren

Frequenzen:

  • 80 kHz: Leistung 1000 W oder 3000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W; 0 - 1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

+49 7458 99931-0

Holen Sie sich Ihren Experten ans Telefon

info@plasma.com

Schreiben Sie uns Ihr Anliegen

Angebot anfordern

Sie wissen genau was Sie wollen