Femto

NIEDERDRUCK-PLASMAANLAGEN (PLASMACLEANER)

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Die Femto Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Femto Plasmasystemen. Die Femto Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:

Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik

Modell 1A Grundgerät Typ A inkl. halbautomatischer Steuerung

Vakuumkammer / Rezipient Typ A        
(rund, Edelstahl, Deckel, D: 100 mm, T: 278 mm)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 1 B1 Grundgerät Typ B inkl. halbautomatische Steuerung

Vakuumkammer / Rezipient Typ A 
(rund, Edelstahl, Deckel, D: 100 mm, T: 278 mm)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 1 B2 Grundgerät Typ B inkl. halbautomatische Steuerung

Vakuumkammer / Rezipient Typ G        
(rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
B: 110 mm, H: 120 mm, T: 300 mm)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 1C Grundgerät Typ C inkl. halbautomatische Steuerung

Vakuumkammer / Rezipient Typ G        
(rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
B: 110 mm, H: 120 mm, T: 300 mm)
Gaszufuhr
Nadelventil

Modell 3B Grundgerät Typ B inkl. Basic Pc Steuerung (Windows CE)

Vakuumkammer / Rezipient Typ G
(rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
B: 110 mm, H: 120 mm, T: 300 mm)
Gaszufuhr
MFC

Modell 4 Grundgerät Typ B inkl. Full PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Vakuumkammer / Rezipient Typ G        
(rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
B: 110 mm, H: 120 mm, T: 300 mm)
Gaszufuhr
MFC

Modell 4 B1 Grundgerät Typ B inkl. Full PC Steuerung (Windows 10 IoT)

Vakuumkammer / Rezipient Typ A        
(rund, Edelstahl, Deckel, D: 100 mm, T: 278
Gaszufuhr
MFC

Technische Daten

Grundausstattung

  • Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 1,9 - 6 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V für Tischgeräte, 400 V / 3 Phasen für Standgeräte

Vakuumkammern

  • Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm)
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 103 x T 285 x H 103)
  • Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. ∅ 103 mm x 103 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm

Beladung

  • Warenträger (Option: wasssergekühlt)
  • Quarzglasboote
  • Pulverdrehtrommel 
  • Schüttgutdrehtrommel 
  • Aluminiumblech
  • Edelstahlblech
  • Borosilikatglas
  • Quarzglas

Elektroden

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE

Steuerungen

  • Halbautomatik
  • Drehschalter
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung

  • Pirani
  • Kapazitätsmanometer (für Korrosiv Gas Version)

Timer

  • Digital

Generatoren

Frequenzen:    

  • 40 kHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 1000 W
  • 100 kHz: Leistung 500 W
  • 80 kHz: Leistung 1000 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 200 W
  • 2,45 GHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

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