Ashing

En español, incineración. Descomposición de capas de hidrocarburos mediante grabado con plasma. Los polímeros se descomponen en fragmentos que, bien son gaseosos de por sí, bien reaccionan con especies activas del plasma para dar lugar a moléculas gaseosas, que se aspiran con la bomba de vacío. En particular, reviste relevancia industrial la incineración de laca fotosensible en tecnología de semiconductores.

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