Tetra 100
Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)
Die Tetra 100 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 100 Systemen. Die Tetra 100 Plasma Systeme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik (REM, TEM)
- Archäologie
- Automotive
- Biotechnologie
- Elastomertechnik
- Elektrotechnik
- Elektronenmikroskopie
- Feinwerktechnik
- Forschung und Entwicklung
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Solarzellentechnik
- Textiltechnik
verschiedene Modelle
Modell 1
Modell 1, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
MFC
Modell 2
Modell 2, Standardanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
MFC
Modell 3
Modell 3, Standardanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 850 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier,
(B400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
MFC
Modell 4
Modell 4, Korrosivgasanlage (z. B. für fluorhaltige Prozessgase)
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier,
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
Nadelventil
Modell 5
Modell 5, Plasmapolymerisationsanlage
BASIC PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
MFC
Modell 6
Modell 6, Plasmapolymerisationsanlage
FULL PC Steuerung in Grundgerät Typ A
(B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm)
Vakuumkammer, rechteckig, Edelstahl, Tür mit Scharnier
(B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm)
Gaszufuhr:
MFC
Möglichkeiten der Plasmabehandlung
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
Ätzen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.
Beschichten von Werkstoffen
Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.
Technische Daten
Grundausstattung
- Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 80 - 100 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen
Gaszufuhr
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Edelstahl rund, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 400 mm, L 625 mm)
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 mm x H 400 mm x T 625 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE Elektrode mit Gasdusche
Steuerungen
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows 10 IoT)
Druckmessung
- Pirani
- Kapazitätsmanometer (für Korrosivgas-Version)
Timer
- in PC integriert
Generatoren
Frequenzen:
- 80 kHz: Leistung 1000 oder 3000 W
- 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
- 2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W
Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.
