NiederdruckplasmaPlasmasystem Tetra 100
Mehr Prozessvolumen für industrielle Anwendungen
Das Plasmasystem Tetra 100 wurde für Unternehmen entwickelt, die größere Werkstücke effizient und reproduzierbar mit Niederdruckplasma behandeln möchten. Mit einem Kammervolumen von 100 - 100 Litern bietet die Anlage ausreichend Platz für anspruchsvolle Anwendungen in der Industrie sowie in Forschungs- und Entwicklungsabteilungen.
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100 Liter Platz für größere Bauteile
Mit ihrem großzügigen Kammervolumen von 100 - 100 Litern eignet sich die Tetra 100 ideal für die Behandlung größerer Bauteile oder mehrerer Werkstücke in einem Prozess. Dadurch lassen sich Durchsatz und Wirtschaftlichkeit steigern, ohne Kompromisse bei der Prozessqualität einzugehen.
Das modulare Anlagenkonzept ermöglicht eine individuelle Konfiguration entsprechend Ihrer Anforderungen. Steuerung, Prozessparameter und Anlagenausstattung können optimal auf Materialien, Bauteilgeometrien und Fertigungsabläufe abgestimmt werden.
Die Tetra 100 unterstützt unterschiedlichste Verfahren der Niederdruckplasmatechnologie – von der Feinstreinigung über die Oberflächenaktivierung bis hin zur Plasmaätzung und funktionellen Beschichtung. Reproduzierbare Prozesse und eine hohe Prozessstabilität schaffen optimale Voraussetzungen für nachgelagerte Fertigungsschritte wie Kleben, Lackieren oder Beschichten.
Durch ihre robuste Konstruktion und die flexible Konfigurierbarkeit eignet sich die Anlage sowohl für Forschungsanwendungen als auch für den kontinuierlichen Einsatz in industriellen Produktionsumgebungen.
Reinigen
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 100 bietet Lösungen für die Feinstreinigung aller Oberflächen, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Die Plasmareinigung entfernt alle organischen Rückstände ohne das Bauteil chemisch oder thermisch zu belasten.
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Aktivieren
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche. Die Plasmaaktivierung der Niederdruckplasma Anlage Tetra 100 schafft polare Bindungspartner und erhöht die Oberflächenenergie.
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Beschichten
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 100 kann Oberflächen auch durch eine Beschichtung modifizieren. In einer Plasmabeschichtung können hydrophobe, hydrophile, Schutz- oder Isolierschichten jeglicher Art abgeschieden werden.
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Ätzen
Die Plasmatechnik der Niederdruckplasma Anlage Tetra 100 ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Dadurch entstehen Nanostrukturierungen von Oberflächen zu deren Vergrößerung und Haftungsverbesserung.
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100 - 100l Kammer
Die Niederdruckplasma Anlage Tetra 100 ist mit einem Kammervolumen von 100 - 100l ausgestattet, welches optimal für große Bauteile aus der Industrie geeignet ist. Dafür stehen Edelstahl- oder Aluminiumkammern zur Verfügung, die besonders sichere und stabile industrielle Prozesse gewährleisten. Bei bestimmten Anwendungen stehen eine Borosilikatglaskammer sowie eine Schubladentür zur Verfügung. Die großzügige Kammergröße ermöglicht die gleichzeitige Behandlung von komplexen oder mehreren Bauteilen, wodurch sich die Plasmaanlage Tetra 100 ideal für industrielle Produktionsprozesse und Serienanwendungen eignet.
Elektrode
Mit Diener electronic profitieren Unternehmen von einer hohen Investitionssicherheit, da sich die Anlage Tetra 100 mit zukünftigen Anforderungen weiterentwickeln kann. Mit dem flexiblen Baukastensystem entscheidet sich je nach Anwendung der Plasmaanlage Tetra 100, die Elektrodenauswahl von Ein- oder Mehretagenelektroden. Für komplexe größere Bauteile, die viel Platz in der Kammer einnehmen, bietet sich eine Elektrode an, die gleichmäßiges Behandeln sichert. Um sicherzustellen, dass in jedem Anwendungsfall eine gleichmäßige Behandlung erfolgt, werden für viele kleine Bauteile, die sich auf mehreren Etagen befinden, Mehretagenelektroden oder auch eine Drehtrommelelektrode installiert.
Steuerung
Für die Industrie ist das Steuerungselement mit einer einfacheren Low Cost oder Basic PC Steuerung mit voreingestellten Prozessen optimal. Die Plasmaanlage Tetra 100 kann für anspruchsvolle Anwendungen in der Industrie mit einer Full PC Steuerung ausgestattet werden. Sie ermöglicht eine Ferndiagnostik, Netzwerkanbindungen sowie die Archivierung von Prozessen und Alarmlisten. Transparenz der Prozesse und deren Rückverfolgbarkeit schaffen die Basis für eine effiziente und wirtschaftliche Produktion.
Technische Daten
Gehäuseabmessungen
Standgerät
Steuerung
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Vakuumkammer
Edelstahl, Scharniertüre
B 400 mm x H 400 mm x T 625 mm; Volumen ca. 100 Liter
Aluminium, Scharniertüre
B 400 mm x H 400 mm x T 625 mm; Volumen ca. 100 Liter
Optional: Tiefe variabel erweiterbar bis zu max. 3000 mm
Generator
80,00 kHz | Leistung 0 - 1000 W
80,00 kHz | Leistung 0 - 3000 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 300 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 600 W
13,56 MHz | Leistung 0 - 1000 W
2,45 GHz | Leistung 0 - 850 W
Gaszufuhr
MFC (Mass flow controller)
Elektrode
Einetagen Elektrode
Mehretagen Elektrode
RIE Elektrode
Druckmessung
Pirani Sensor
Kapazitätsmanometer
Spannungsversorgung
400 V | 16 - 125 A
Technische Änderungen vorbehalten.
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FAQ Häufig gestellte Fragen
Welche Oberflächen kann mit der Plasmaanlage Tetra 100 aktiviert werden?
Mit der Plasmaanlage Tetra 100 von Diener electronic lassen sich folgende Oberflächen wie Kunststoffe, Metalle, Gläser, Keramiken und Textilien aktivieren.
Welche Kunststoffe können angeätzt werden?
Vor allem Kunststoffoberflächen werden mit diesen Prozessen angeätzt. Die Ätzung ist bei schwer lackier- und verklebbaren Kunststoffen wie POM, PPS und PTFE sehr wichtig. Durch die vergrößerte Oberfläche wird eine bessere Klebehaftung erreicht. Typische Ätzgase sind Sauerstoff, Fluor, aber auch Wasserstoff.
Wie lange hält eine Ätzung an?
Bei der Ätzung der Oberfläche wird Material abgetragen und hält somit permanent an.
Wie viel kann mit dem System Tetra 100 beim Beschichten aufgetragen werden?
Mit dem System Tetra 100 von Diener electronic kann bis in den unteren Mikrometerbereich (< 1 mikrometer) eine Beschichtung aufgetragen werden.
Kann man Textilien beschichten?
Mit der Sonderanlage Rolle-zu-rolle im Niederdruckverfahren von Diener electronic lassen sich Textilien beschichten. Jedoch ist die Behandlungsdauer nicht Kurztakt geeignet. Textilbeschichtungen sind meist weder waschbar noch abriebfest.
Welche Gase können bei der Tetra 100 eingesetzt werden?
Bei der Tetra 100 sowie generell im Niederdruckplasma können folgende Gase eingesetzt werden: O2, N2, Ar, Raumluft, CO2, H2O-Dampf und Formiergas
Sind Abluftfilter bei der/dem Tetra 100 nötig?
Ja, alle Anlagen müssen zwingend an eine gute Abluft angeschlossen werden vollkommen egal welches Gas verwendet wird. Es entstehen Stickoxide, Abgase, feine Öl-Nebel (bei Öl Pumpen), usw., welche nicht eingeatmet werden dürfen, zudem sind die Gase oft sauer, somit begünstigen sie das Rosten von umliegenden Teilen, Maschinen, Anlagen.
Wie hoch ist die typische Prozesstemperatur bei der Tetra 100 in der Vakuumkammer?
Bei der Tetra 100 von Diener electronic liegt normalerweise die Temperatur bei Raumtemperatur bis ca. 80 °C - in Abhängigkeit von Bauteil, Kammerart, Prozesszeit und der Beladungsmenge. Höhere Temperaturen können auf Anfrage bei Diener electronic mittels Heizelemente erreicht werden.
Welcher typische Druckbereich ist in der Regel bei der Tetra 100 in der Vakuumkammer?
Der typische Druckbereich der Tetra 100 liegt bei einstellbaren 0,1 - 1,0 mbar, je nach definiertem Niederdruckplasmaprozesse.
Welche Frequenz liegt bei der GHz-Anlage Tetra 100 an?
Die Generatoren zur GHz-Anlage Tetra 100 arbeiten mit ISM-Frequenz 2,45 MHz - vergleichbar mit der Intensität wie bei einer Mikrowelle. Fragen Sie bitte nach den Sicherheitsbestimmungen für Personen mit Herzschrittmacher.
Welche Anbindungsmöglichkeiten in Bezug auf die Software-Steuerung ist bei dem System Tetra 100 möglich?
Mit der Full PC-Steuerung hat das Plasmasystem Tetra 100 von Diener electronic folgende Anbindungsmöglichkeiten wie:
- übergeordnete Steuerungen z.B. mittels Profinet
- MES-System z.B. über OPC UA
- Datenbankanbindung über ODBC
Lassen sich Kunststoffe mittels Plasmapolymerisation beschichten?
Kunststoffe lassen sich weitestgehend unkompliziert per Plasmapolymerisation beschichten. Ob die speziellen Anforderung erreicht werden können, informiert sie gern die Fachabteilung Prozessentwicklung bei Diener electronic.
So lassen sich z. B. CD’s und DVD’s kratzfest beschichten ohne, dass deren Qualität darunter leidet.
Es lassen sich PTFE-ähnliche Schichten aufbringen, um die Gleitfähigkeit der Behandlungsgüter zu erhöhen. Des Weiteren ist es möglich gezielt funktionelle Gruppen an der Kunststoffoberfläche anzubringen (z. B. Aminogruppen für Bioanalytikanwendungen).
Sind weitere spezifische Software-Wünsche möglich?
Wir von Diener electronic sind darauf spezialisiert, die Software für die Full PC-Steuerung auf ihre Wünsche anzupassen - auf Anfrage.
