Ashing

плазменного травления. Присутствующие полимеры разлагаются на фрагменты, имеющие газообразную структуру или в реакции с активными частицами плазмы образующие газообразные молекулы , отсасываемые вакуумным насосом . Промышленное значение имеет прежде всего озоление фоторезиста в полупроводниковой технике.