Ashing

плазменного травления. Присутствующие полимеры разлагаются на фрагменты, имеющие газообразную структуру или в реакции с активными частицами плазмы образующие газообразные молекулы , отсасываемые вакуумным насосом . Промышленное значение имеет прежде всего озоление фоторезиста в полупроводниковой технике.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете