Generatoren
Für Plasmaanlagen
Damit eine Plasmaanlage funktioniert, bedarf es eines Generators. Welche Frequenz dabei die beste Frequenz für die gewünschte Plasmaanwendung ist, kann nicht allgemein beantwortet werden, sondern muss von Fall zu Fall entschieden werden. Nachdem Diener electronic bereits seit Jahren Plasma-Generatoren mit einer Frequenz von 40 kHz und 2,45 GHz im Produktangebot hat, kommen nun die eigens entwickelten und produzierten 13,56 MHz-Generatoren mit 100 und 300 Watt dazu.
Hauptanwendungsgebiete sind bei beiden Leistungen die Plasmaanwendungen aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end) und Plasmapolymerisation. Die Impedanzanpassung kann sowohl manuell (handmatching) als auch automatisch (automatching) erfolgen, dies ist in jedem Fall erforderlich. Deshalb besteht das HF-System aus Generator und Matching.
Während beim Handmatching die Matching bei jedem Prozessstart eingestellt und während des Prozesses sporadisch kontrolliert und nachgestellt werden muss, werden die Kondensatoren automatisch eingestellt und bei Veränderungen nachgeregelt.
Möglich sind außerdem die Anzeige der Vorwärts- und Rückwärtsleistung, Sicherheitsabschaltung über Türschalter und Vakuumsicherheitsschalter, quarzstabilisierte Frequenz um DIN EN 55011 einzuhalten und eine PC-Schnittstelle.
2,45 GHz-Generator (Mikrowelle)
Die Leistung reicht von 0 bis 850 Watt, der Generator verfügt über eine PC-Schnittstelle. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.
Den Mikrowellengenerator gibt es auch mit 1200 Watt.
Technische Daten:
Max. Ausgangsleistung 1.200 W
Max. Ausgangsstrom 300 mA
Max. Ausgangsspannung 5.000 V
Max. Aufnahmeleistung < 1.300 W
Max. Stromaufnahme 9 ARMS
(kein PFC)
Netzspannung 210...250 VAC
Effizienz > 95 % (bei Nennleistung)
Leistungsregelung Strom: 0...300 mA
Leistung: 0...1.200 W
Burst: 100µ...100ms (Puls / Pausenzeit)
Regelabweichung ± 5 % (vom Maximalwert, Temperaturkompensiert)
Kühlung Luft, max. 70 l/min, temperaturgeregelt
Umgebungstemperatur +15...+40 °C
Lastfehlerauslösezeit Kurzschluss/Leerlauf < 1 sec, Regelfehler < 5 sec
Abmessungen < 485 x 145 x 290 mm³ (bxhxt)
Gewicht ca. 6,0 kg
Generator 13,56 MHz, 100 W
RF-Generatoren Anwendungsgebiete:
- Niederdruckplasma
- RF-Heizung
RF-Generator 13,56 MHz, 100 W
- RF-Nennausgangsleistung: 100 Watt
- Frequenz: 13,560 MHz ± 100 ppm
- Einstellbare RF-Ausgangsleistung: 0 - 100 Watt, kontinuierlich
- Generator kann gepulst werden: Min. on-time: 5µs
- Impedanz: 50 Ohms
- RF-Stabilität: weniger als 5 % (abhängig vom verwendeten Anpassgerät)
- Fehlanpassungsschutz von offenem Ausgang bis Kurzschluss) eingebaut
- Maximale Fehlanpassung ohne Leistungsreduzierung: VSWR = 1,2
- RF mit Volllast einschaltbar
- Netzanschluss: 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz (in Verbindung mit externer Stromversorgung)
- Leistungsaufnahme: max. 220 Watt
- Fernsteuerungsanschluss für: - RF Ein/Aus-RF Leistungseinstellung (0...10 V = 0 ... 100 %)
- RF-Ausgang: N-Buchse
- Netzanschluss: externes Stromversorgungsmodul
- Masse: ca. 6,5 kg (Generator) plus 1,0 kg (Netzteil)
Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.
Generator 13,56 MHz, 300 W
RF-Generatoren Anwendungsgebiete:
- Niederdruckplasma
- RF-Heizung
RF-Generator 13,56 MHz, 300 W
- RF-Nennausgangsleistung: 300 Watt
- Frequenz: 13,560 MHz ± 100 ppm
- Einstellbare RF-Ausgangsleistung: 0 - 300 Watt, kontinuierlich
- Generator kann gepulst werden: Min. on-time: 5µs
- Impedanz: 50 Ohms
- RF-Stabilität: weniger als 5 % (abhängig vom verwendeten Anpassgerät)
- Fehlanpassungsschutz von offenem Ausgang bis Kurzschluss) eingebaut
- Maximale Fehlanpassung ohne Leistungsreduzierung: VSWR = 1,2
- RF mit Volllast einschaltbar
- Netzanschluss: 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz
- Leistungsaufnahme: max. 580 Watt
- Fernsteuerungsanschluss für: - RF Ein/Aus, RF Leistungseinstellung (0...10 V = 0 ... 100 %), Automatisches Anpassgerät, PC- oder Plasmaanlagensteuerung
- RF-Ausgang: N-Buchse
- Netzanschluss: IEC Einbaustecker mit Filter
- Masse: ca. 18 kg
Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.
LFG-Generator, 500W
Max. Ausgangsleistung: 500W
Max. Ausgangsstrom: 1,3A
Max. Ausgangsspannung: 1200VAC
Max. Leistungsverbrauch: 560W
Eingangsspannung: 210...230VAC 50/60Hz
Eingangsstrom: max 2,6 Arms
Effizienz: > 90 % (bei Nennleistung)
Leistungsanpassungsmodus: Strommodus: 0,1A - 1,3A Leistungsmodus: 10W - 500W (via DSUB oder PC-Anbindung)
Pulsbetrieb:
• Pulsweite: 100µs - 100ms
• Impulsverzögerung: 100µs - 100ms
Genauigkeit: mehr als ±5 % des Endwertes
Schutz vor Fehlanpassung gegen Leerlauf und Kurzschluss
• Ausschaltzeit bei Leerlauf/Kurzschluss: < 1 sec
• Ausschaltzeit bei Anpassungsfehler: < 5 sec
Synchronisierter Parallelbetrieb
Temperaturbereich (Im Betrieb): +15 - +40 °C
Kühlung: max. 70 m³/h Luftstromanschlüsse:
• DSUB25 (weiblich) zur Fernsteuerung über Industriesysteme (24/10V Spannungslevel)
Gewicht: 5,6 kg
Anwendungen:
• Niederdruckplasmageneratoren
LFG-Generator, 1000W
Max. Ausgangsleistung: 1200W
Max. Ausgangsstrom: 4A
Max. Ausgangsspannung: 1200VAC
Max. Leistungsverbrauch: 1500W
Eingangsspannung: 210...230VAC 50/60Hz
Eingangsstrom: max 3x 5 Arms
Effizienz: > 90 % (bei Nennleistung)
Leistungsanpassungsmodus: Strommodus: 1A - 4A Leistungsmodus: 300W - 3000W (via DSUB oder PC-Anbindung) Pulsbetrieb:
• Pulsweite: 100µs - 100ms
• Impulsverzögerung: 100µs - 100ms
Genauigkeit: mehr als ±5 % des Endwertes
Schutz vor Fehlanpassung gegen Leerlauf und Kurzschluss
• Ausschaltzeit bei Leerlauf/Kurzschluss
: < 1 sec
• Ausschaltzeit bei Anpassungsfehler
: < 5 sec
Synchronisierter Parallelbetrieb
Temperaturbereich (Im Betrieb): +15 - +40 °C
Kühlung: max. 70 m³/h Luftstrom
Anschlüsse:
• DSUB25 (weiblich) zur Fernsteuerung über Industriesysteme (24/10V Spannungslevel)
Gewicht: 18 kg
Anwendungen:
• Niederdruckplasmageneratoren
LFG-Generator, 3000W
Max. Ausgangsleistung: 3000W
Max. Ausgangsstrom: 10A
Max. Ausgangsspannung: 1200VAC
Max. Leistungsverbrauch: 3600W
Eingangsspannung: 210...230VAC 50/60Hz
Eingangsstrom: max 3x 7 Arms
Effizienz: > 90 % (bei Nennleistung)
Leistungsanpassungsmodus: Strommodus: 1A - 4A Leistungsmodus: 300W - 3000W (via DSUB oder PC-Anbindung) Pulsbetrieb:
• Pulsweite: 100µs - 100ms
• Impulsverzögerung: 100µs - 100ms
Genauigkeit: mehr als ±5 % des Endwertes
Schutz vor Fehlanpassung gegen Leerlauf und Kurzschluss
• Ausschaltzeit bei Leerlauf/Kurzschluss
: < 1 sec
• Ausschaltzeit bei Anpassungsfehler
: < 5 sec
Synchronisierter Parallelbetrieb
Temperaturbereich (Im Betrieb): +15 - +40 °C
Kühlung: max. 70 m³/h Luftstrom
Anschlüsse:
• DSUB25 (weiblich) zur Fernsteuerung über Industriesysteme (24/10V Spannungslevel)
Gewicht: 18 kg
Anwendungen:
• Niederdruckplasmageneratoren
LFG-Generator, 5000W
Max. Ausgangsleistung: 5000W
Max. Ausgangsstrom: 10A
Max. Ausgangsspannung: 1200VAC
Max. Energieverbrauch: 5700A
Netzanschluss: 210...230VAC 50/60Hz
Eingangsstrom: max 3 x 7 Arms
Effizienz: > 90 % (at nominal power)
Leistungseinstellung: Current mode: 1A – 4A Power mode: 300W – 3000W
(über DSUB oder PC Verbindung) Burst mode:
• Pulse-Width: 100µs - 100ms
• Pulse-Delay: 100µs - 100ms
Genauigkeit: < ±5 % des Endwertes
Lastfehlanpassung für “offener Ausgang” und “Kurschluss”
• Ausschaltzeit bei offener Last: <1sec.
• Ausschaltzeit bei Einstellfehler: < 5 sec
Synchroner Parallelbetrieb
Betriebstemperaturbereich: +15 - +40 °C
Kühlung: max. 323 m³/h Luftdurchsatz (Temperaturgesteuert)
Schnittstellen:
• DSUB25 (weiblich) zur Fernsteuerung über industrielle Systemsteuergeräte (24/10V Spannungsniveau)
Gewicht: 18 kg
Anwendung:
• Niederdruckplasmagenerator
Sonstiges Zubehör Generatoren:
Biasspannungsmessung
Die Biasspannungsmessung ist ein Messgerät und für kHz- und MHz-Generatoren erhältlich.
Mikrowellenlecktester
Aufgrund der gefährlichen Strahlung kann es nützlich sein, einen Mikrowellenlecktester bei Mikrowellenanlagen anzubringen.
