
Lexikon der Oberflächentechnik
2,45 GHz
Freigegebene ISM-Frequenz, die als Arbeitsfrequenz von Plasmageneratoren und auch Mikrowellen-Haushaltsgeräten zum Einsatz kommt. Das resultierende Plasma wird aufgrund der Frequenz als Mikrowellenplasma bezeichnet. Die Mikrowellenstrahlung wird nicht wie bei tieferen Anregungsfrequenzen über Elektroden erzeugt, sondern durch ein Magnetron. Das Magnetron befindet sich stets außerhalb des eigentlichen Plasmas und speist seine Strahlung durch ein Quarzglasfenster in die Plasmakammer ein.