Magnetron

Ein Magnetron ist eine Elektronenröhre zur Erzeugung von Mikrowellenstrahlung. In der Plasmatechnik wird ein Magnetron für die Mikrowellenanregung von Niederdruckplasma mit der freigegebenen HF-Frequenz 2,45 GHz betrieben. Das Magnetron befindet sich stets außerhalb der Plasmakammer (Rezipient). Die Plasmaanregung geschieht durch Mikrowelleneinkopplung z.B. durch ein Quarzglasfenster.