2,45 GHz

Fréquence ISMautorisée, qui est utilisée comme fréquence de travail de générateurs de plasma et aussi d'appareils ménagers à micro-ondes. Le plasma qui en résulte est appelé plasma micro-ondes, à cause de la fréquence. Le rayonnement micro-ondes n'est pas généré par des électrodes comme ceci en est le cas avec des fréquences d'excitation plus basses, mais par un magnétron. Le magnétron se trouve toujours à l'extérieur du plasma proprement dit et envoie son rayonnement à travers une fenêtre en verre de quartz dans la chambre à plasma .

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