2,45 GHz

Frecuencia ISM autorizada para el uso como frecuencia de trabajo en generadores de tensión de plasma y en microondas domésticos. Por la frecuencia de las ondas, el plasma generado se denomina plasma de microondas. A diferencia de las frecuencias de excitación inferiores, la radiación de microondas no se genera mediante electrodos, sino por medio de un magnetrón. El magnetrón siempre se encuentra fuera del plasma propiamente dicho. Su radiación penetra en la cámara de plasma a través de una ventana de cuarzo.