Mikrowellentechnik

Durch die Mikrowellentechnik angeregtes Plasma. Das Plasma mit dem Magnetron, dass für die Anregung verantwortlich ist, nicht in Kontakt. Die Plasmadichte und der Anteil an Radikalen sind im Mikrowellenplasma sehr hoch. Dadurch lassen sich besonders hohe Ätzrate erzielen.

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