Lexikon der Oberflächentechnik

Mikrowellentechnik

Durch die Mikrowellentechnik angeregtes Plasma. Das Plasma mit dem Magnetron, dass für die Anregung verantwortlich ist, nicht in Kontakt. Die Plasmadichte und der Anteil an Radikalen sind im Mikrowellenplasma sehr hoch. Dadurch lassen sich besonders hohe Ätzrate erzielen.

+49 7458 99931-0

Holen Sie sich Ihren Experten ans Telefon

info@plasma.com

Schreiben Sie uns Ihr Anliegen

Angebot anfordern

Sie wissen genau was Sie wollen