2,45 ГГц

ISM-частота, используемая в качестве рабочей частоты плазменных генераторов и бытовых микроволновых устройств. Результирующая плазма ввиду частоты обозначается как микроволновая плазма. Микроволновое излучение в отличие от низких частот возбуждения генерируется не электродами, а магнетроном. Магнетрон всегда находится за пределами самой плазмы и направляет свое излучение через окно из кварцевого стекла в плазменную камеру .