Lexikon der Oberflächentechnik

Quarzglasboot

Auch "Quarzglasschiffchen".

Ein Warenträger zur Aufnahme eines ganzen Stapels von Siliziumwafern zur Plasmabehandlung im Niederdruckplasma, insbesondere durch Plasmaätzen. Es bsteht aus hochreinem Quarzglas, weil dieses durch den Ätzprozess praktisch nicht angegriffen wird.

Nähere Informationen dazu auch unter ⇒ Zubehör

+49 7458 99931-0

Holen Sie sich Ihren Experten ans Telefon

info@plasma.com

Schreiben Sie uns Ihr Anliegen

Angebot anfordern

Sie wissen genau was Sie wollen