Vassoio al quarzo

Anche denominato "navetta in vetro di quarzo". Supporto del prodotto per contenere un'intera pila di wafer di silicio per il trattamento al plasma nel plasma a bassa pressione, soprattutto mediante processo di acidatura al plasma. È realizzato in vetro di quarzo ad alta purezza, in quanto sostanzialmente immune al processo di acidatura. Per maggiori informazioni si rinvia alla voce ⇒ Accessori