Глоссарий технологии обработки поверхностей
Лодочка из кварцевого стекла
кремниевых пластин для плазменной обработки в плазме низкого давления, в частности – плазменного травления. Состоит из кварцевого стеклавысокой частоты, практически не реагирующего на травление. Дополнительную информацию см. в разделе ⇒ Аксессуары