Glosario de tecnología de superficies
Bote de vidrio de cuarzo
También puede llamarse "barco de vidrio de cuarzo". Soporte de mercancías que puede alojar toda una pila de obleas de silicio para el tratamiento con plasma en el plasma de baja presión, en particular, mediante grabado con plasma. Está compuesto por vidrio de cuarzo de alta pureza, ya que apenas se ve afectado por ningún ataque durante el proceso de grabado. Encontrará más información al respecto en ⇒ Accesorios.