Récipient en verre de quartz
Il s'agit d'un support de produit pouvant contenir une pile entière de plaquettes de silicium pour traitement au plasma en procédé plasma basse pression, en particulier par gravure plasma. Il est se compose de verre de quartz de haute pureté parce qu'il n'est pratiquement pas attaqué par le processus de gravure. Vous trouverez de plus amples informations à ce sujet dans ⇒ Accessoires
