Niederdruckplasma

Technisches Plasma lässt sich bei Atmosphärendruck oder in verdünnten Gasen anregen. Die Anregung unter Atmosphärendruck erfolgt durch Gasentladung. Auf Grund der freien Weglänge der Ionen bei Atmosphärendruck (rund 10^-7 m) ist die Ausdehnung des Plasmas auf die Zone sehr hoher Feldstärke begrenzt.

Niederdruckplasma wird zwischen zwei Elektroden durch elektromagnetische Hochfrequenzfelder erzeugt. Durch die große freie Weglänge angeregter Teilchen (rund 10 cm bei 10^-3 mbar) kann die Ausdehnung des Plasmas über den Wirkungsbereich des Hochfrequenzfeldes hinausgehen und auch das komplette Volumen eines Rezipienten erfassen.

Niederdruckplasma kann grundsätzlich in jedem Gas angeregt werden. Auch Substanzen, die unter Atmosphärendruck flüssig sind, können bei Niederdruck gasförmig sein und als Prozessgas verwendet werden. Sie werden außerhalb des Rezipienten verdampft und gasförmig zugeführt. Durch die Vielzahl geeigneter Prozessgase können entsprechend vielfältige Plasmaprozesse realisiert werden.