Quarzglas

Quarzglas ist ein hochreines Glas aus reinem Siliziumdioxid (SiO₂). Für einige Ätzprozesse kann Edelstahl als Material für den Rezipienten nicht ausreichend widerstandsfähig sein. In solchen Fällen kann die Plasmakammer auch aus Quarzglas bestehen, das praktisch gegen jeden Ätzangriff resistent ist.

Generell bestehen die Fenster der Plasmakammern aus Quarzglas, sowie in manchen Fällen die Objektträger, dann, wenn wie im Falle des Rezipienten, Edelstahl nicht ausreichend beständig ist. Siliciumwafer werden zum Ätzen in einem Quarzglaschiffchen gelagert.