Incenerimento dei fotoresist

Nella lavorazione dei circuiti stampati con processi fotolitografici, la tecnologia del plasma svolge un ruolo importante. Dopo l'installazione delle piste conduttive, lo strato fotoresistente deve essere rimosso selettivamente. Secondo la tecnica più avanzata, ciò avviene tramite acidatura al plasma. Il fotoresist viene decomposto (incenerito) in prodotti gassosi di degradazione, che vengono poi aspirati dalla pompa per vuoto. Un'elevata velocità di trattamento è di grande importanza per garantire una lavorazione efficiente. Un Plasma-Stripper o un Plasma Asher è un sistema al plasma ottimizzato per questa applicazione.

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