Plasmastripper

Speziell für das effiziente Ätzen im Sauerstoffplasma ausgelegte bzw. ausgestattete Plasmaanlage. Mit dem Plasmastripper werden insbesondere Fotolackmasken nach abgeschlossener Strukturierung wieder entfernt. Fotolacke bestehen aus organischen Harzen, die durch isotropes Plasmaätzen im Sauerstoffplasma sehr gut abgetragen werden können. Fotolackschichten können dick sein, daher ist eine hohe Ätzrate erforderlich. Die erforderliche hohe Anzahl von Radikalen kann besonders gut durch Mikrowellenanregung erzeugt werden. Ein Plasmastripper ist also vorzugsweise mit einer Mikrowelleneinkopplung ausgestattet. Wenn die Plasmaanregung außerhalb des Behandlungsraums erfolgt, sind keine Ionen wirksam, was zur Vermeidung von Aufladung und a isotroper Ätzung des Substrats bevorzugt ist.

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