Plasmaasher

Durch Ätzung im Sauerstoffplasma können Kohlenwasserstoffe sehr gut abgebaut werden. Diese Wirkung wird bei der Plasmareinigung zur Entfernung polymerer Oberflächenverschmutzungen, beispielsweise Wachsen, Silikonen, Ölen und Fetten verwendet.
Es können aber auch ganze polymere Kunststoffschichten rückstandsfrei entfernt werden. Beispielsweise kann bei einem Verbundwerkstoff zur Analyse die gesamte polymere Komponente entfernt und die reine anorganische Komponente freigelegt werden. Ein derartiger Prozess dient in der Werkstoffprüfung der Untersuchung der Einzelbestandteile. Man redet bei einem solchen Prozess von "Veraschung" (Ashing).

Die wichtigste Anwendung der Veraschung ist jedoch die rückstandsfreie Entfernung von Fotolackschichten nach einem fotolithographischen Prozess in der Mikroelektronik.

Ein Plasmaasher (Plasmaverascher) ist eine Niederdruck-Plasmaanlage, die für Veraschungsprozesse ausgelegt bzw. ausgestattet ist.

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