Озоление фоторезиста

печатных платметодом фотолитографии широко используются плазменные технологии . После нанесения проводящих полосок требуется выборочно удалить слой фоторезиста. На современном техническом уровне это выполняется плазменным травлением . С этой технологией фоторезист разлагается (озоляется) на газообразные продукты распада, отсасываемые вакуумным насосом . Для рациональной обработки большое значение имеет высокая скорость процесса. Установка удаления фоторезиста или травления – это плазменная установка, оптимизированная для выполнениях данных задач.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете