Озоление фоторезиста

печатных платметодом фотолитографии широко используются плазменные технологии . После нанесения проводящих полосок требуется выборочно удалить слой фоторезиста. На современном техническом уровне это выполняется плазменным травлением . С этой технологией фоторезист разлагается (озоляется) на газообразные продукты распада, отсасываемые вакуумным насосом . Для рациональной обработки большое значение имеет высокая скорость процесса. Установка удаления фоторезиста или травления – это плазменная установка, оптимизированная для выполнениях данных задач.