Incineración de laca fotosensible

En el tratamiento de placas de circuito impreso con procedimientos fotolitográficos, la tecnología del plasma desempeña un papel fundamental. Una vez creadas las pistas conductoras, debe eliminarse la capa de laca fotosensible con precisión. En el estado actual de la técnica, este proceso se lleva a cabo por grabado con plasma. Para ello, se descompone (incinera) la laca fotosensible, de lo que se obtienen productos de descomposición gaseosos, que aspira por la bomba de vacío. Para que el tratamiento resulte eficaz, es muy importante que su velocidad sea elevada. Un decapante de plasma o un incinerador de plasma constituyen sistemas de plasma optimizados para esta aplicación.