Parylene

Unerreichter Oberflächenschutz

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Die Abscheidung erfolgt durch Polymerisation über ein vakuumunterstütztes Beschichtungsverfahren, der sog. chemischen Gasphasenabscheidung (engl. Chemical Vapour Deposition - CVD). Das „Dimer“ (festes [2,2]-p-Cyclophan), welches in pulverähnlicher Grundform vorliegt, wird zunächst im Verdampfer sublimiert.

Die thermische Spaltung des verhältnismäßig reaktionsträgen „Dimergases“ erfolgt mit Hilfe eines Pyrolyserohrs bei ca. 650 °C und resultiert in der Bildung von hochreaktiven Monomeren. Der Prozessdruck ist hierbei abhängig vom eingesetzten Dimer- und Anlagentyp, und beträgt ca. 0,02 - 0,1 mbar. Über Diffusion gelangen die reaktiven Monomere in die nachfolgende Vakuumkammer, in der das Beschichtungsgut auf einem rotierenden Gestell platziert ist.

Die reaktiven Monomere polymerisieren bevorzugt an kalten Oberflächen zu dünnen Schichten aus Poly(para-Xylylen) bzw. Parylene. Da nicht alle Monomere in der Kammer polymerisieren muss verhindert werden, dass die Vakuumpumpe anschließend mitbeschichtet wird. Daher ist es notwendig eine Kühlfalle in das System zu integrieren. Die Kühlfalle  wird während der Prozesszeit einfach mit flüssigem Stickstoff befüllt, sodass die restlichen Monomere in der Kühlfalle polymerisieren und die Funktionsfähigkeit der Pumpe gewährleistet bleibt.

Anwendungen

Problemlose Beschichtung in den verschiedensten Anwendungsbereichen

Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.
 

Die einmaligen Eigenschaften von Parylene:

  • Geometrieunabhängige absolute Schichtdickenkonstanz
  • Pinhole-frei schon unter 1µm
  • extreme Spaltgängigkeit
  • Unerreichte Barriereeigenschaften (insbesondere Parylene C)
  • Unlöslichkeit
  • Lebensmittelechtheit und Biokompatibilität
  • keine Umweltbelastung
  • Extreme Temperaturbeständigkeit (Parylene F-AF4)
  • Parylene die erste Wahl für viele anspruchsvolle Anwendungen auf vielen Gebieten der Technik:

  • Medizin / Pharma
  • Elektronik
  • Luft-/Raumfahrt
  • Sensortechnik
  • Industrie
  • Fahrzeugtechnik
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