Ashing de photoréserve

Dans le traitement des circuits impriméspar photolithographie , la technologie plasma joue un rôle important. Après la pose des pistes conductrices, la couche de photoréserve doit être enlevée de manière sélective. Selon la situation de la technique, ceci s'effectue par gravure au plasma . La couche de photoréserve est décomposée en produits de dégradation gazeux (ashing), qui sont aspirés par la pompe à vide . Une vitesse de traitement élevée est d'une grande importance pour un traitement efficace. Un système de stripping ou ashing plasma est un système plasma optimisé pour cette application.

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