Lexikon der Oberflächentechnik

Plasmaanlage

Eine Anlage zur Erzeugung eines technischen Plasmas zur Durchführung einer Plasmabehandlung.

Insbesondere sind dies Niederdruckplasmaanlagen, Atmosphärische Plasmaanlagen (Plasmabeam) und Coronaanlagen.

Aufbau einer Niederdruck-Plasmaanlage

Eine Niederdruck-Plasmaanlage umfasst die Hauptkomponenten:

mit den folgenden festen Bestandteilen:

  • Steuerung (im Allgemeinen mit dem Rezipienten kombiniert)
  • Schläuche und Schlauchanschlüsse
  • Elektrode(n)

und zahlreichem optionalen Zubehör.

Aufbau einer Atmosphärendruck-Plasmaanlage

Eine Atmosphärische Plasmaanlage umfasst die Hauptkomponenten:

  • Plasmaerzeuger
  • Versorgungseinheit

mit den folgenden festen Bestandteilen:

und zahlreichem optionalen Zubehör.

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