Schwefelhexafluorid

Schwefelhexafluorid (SF6) ist unter normalen Bedingungen ein absolut inertes Gas, das allerdings als Prozessgas im Plasma hoch reaktive Fluoratome und Schwefelfluorid-Radikale bildet und daher eines der agressivsten Plasma-Prozessgase darstellt (siehe auch Tetrafluormethan).

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