Lexikon der Oberflächentechnik
Schwefelhexafluorid
Schwefelhexafluorid (SF6) ist unter normalen Bedingungen ein absolut inertes Gas, das allerdings als Prozessgas im Plasma hoch reaktive Fluoratome und Schwefelfluorid-Radikale bildet und daher eines der agressivsten Plasma-Prozessgase darstellt (siehe auch Tetrafluormethan).
