
Lessico della tecnologia delle superfici
Esafluoruro di zolfo
L’esafluoruro di zolfo (SF6) è un gas assolutamente inerte in condizioni normali, ma come gas di processo forma nel plasma atomi di fluoro altamente reattivi e radicali di fluoruro di zolfo ed è quindi uno dei gas di processo al plasma più aggressivi (vedere anche tetrafluorometano).