Гексафторид серы

Гексафторид серы (SF₆) при нормальных условиях является абсолютно инертным газом, но в качестве технологического газа в плазме он образует высоко активные атомы фтора и радикалы фторида серы, поэтому считается одним из самых агрессивных плазменных газов (см. также Тетрафторметан).