Lexikon der Oberflächentechnik

CF4 - Tetrafluormethan

Tetrafluormethan, insbesondere bekannt unter dem Handelsnamen Freon 14 (Dupont). CF4 ist ein für Beschichtungsprozesse durch Plasmapolymerisation häufig eingesetztes Prozessgas. Es dient der Erzeugung fluorierter Oberflächen, insbesondere beim Epilamisieren, der Herstellung einer perfluorierten Oberfläche. 

Tetrafluormethan CF4 entspricht dem Methan-Molekül, bei dem alle 4 Wasserstoffbindungen durch Fluor ersetzt wurden. 
In Plasma-Prozessen häufig eingesetztes Prozessgas, insbesondere bei Ätzprozessen. Tetrafluormethan (CF4, auch als Freon 14 bezeichnet) ist unter normalen Bedingungen völlig inert, bildet aber im Plasma freie Fluoratome und CF2- und CF3-Radikale. Diese haben eine sehr starke Ätzwirkung, z.B. auf Siliciumdioxid. Mischungen aus CF4 und O2 ätzen ca. 5 x schneller als reiner Sauerstoff.

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