CF4

Tetrafluormethan, insbesondere bekannt unter dem Handelsnamen Freon 14 (Dupont). CF4 ist ein für Beschichtungsprozesse durch Plasmapolymerisation häufig eingesetztes Prozessgas. Es dient der Erzeugung fluorierter Oberflächen, insbesondere beim Epilamisieren, der Herstellung einer perfluorierten Oberfläche. 

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