Hexafluorure de soufre

L'hexafluorure de soufre (SF₆) est un gaz absolument inerte dans des conditions normales, qui génère cependant, en tant que gaz de traitement dans le plasma , des atomes de fluor hautement réactifs et des radicaux de fluorure de soufre et est donc l'un des gaz les plus agressifs du processus plasma (voir aussi tétrafluorométhane).