Hexafluoruro de azufre

En condiciones normales, el hexafluoruro de azufre (SF6) es un gas totalmente inerte; sin embargo, como gas de proceso en plasma, forma átomos de flúor y radicales de fluoruro de azufre altamente reactivos, por lo que representa uno de los gases de proceso con plasma más agresivos (ver también Tetrafluorometano).

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