Plasmaprozess

Verallgemeinerung der vier grundlegenden Plasmaprozesse:

• Reinigen:
  durch Entfernung von Oberflächenschichten
• Aktivieren:
  durch Schaffung polarer Gruppen auf unpolaren Substraten
• Ätzen:
  Durch Abtrag von Substratmaterial
• Beschichten:
  Durch Polymerisation von Molekülen des Prozessgases