Reinigen

Reinigung wird im industriellen Bereich meist unter Verwendung von Lösungsmitteln durchgeführt, die bei der jeweiligen Verschmutzung wirksam sind, aber das Substrat selbst nicht angreifen. Die Reinigung erfolgt oft in Tauchbädern und wird auch vielfach mechanisch unterstützt.

Wachsende Bedeutung findet die Plasmareinigung, die ohne umweltschädliche Nasschemie auskommt und in der Lage ist, auch feinste Verunreinigungen auch in engen Spalten und Hohlräumen zu entfernen.