Glosario de tecnología de superficies
Proceso con plasma
Término genérico para designar los cuatro procesos con plasma fundamentales:
- Limpieza:
Por eliminación de capas superficiales - Activación:
Por medio de la creación de grupos polares en sustratos no polares - Grabado:
Mediante la extracción de material del sustrato - Recubrimiento:
Gracias a la polimerización de moléculas del gas del proceso