Плазменный процесс

плазменных процессов:

• Очистка:
  путем удаления поверхностных слоев
• Активация:
  путем создания полярных групп на неполярных субстратах
• Травление:
  путем съема материалов субстрата
• Нанесение покрытий:
  за счет полимеризации молекул технологического газа