Plasmabeschichtung

Durch Plasmabehandlung lassen sich viele Oberflächenbeschichtungen realisieren:

• Superharte, kratz- und abriebfeste DLC-Schichten
• PTFE-ähnliche durch Plasmapolymerisation
• Herstellung hydrophober Beschichtungen durch HMDSO
• Herstellung hydrophiler Beschichtungen mit Vinylacetat
• Epilamisierung durch Polymersation von Fluoridmonomeren (CF₄)
• Oxidschichten zur Korrosionsvermeidung
• Beschichten durch Magnetron-Sputtern (PVD-Verfahren)
• Plasmaunterstütztes chemisches Dampfabscheideverfahren (PACVD, PECVD)
• Barriereschichten zur Vermeidung von Diffusion, Permeation
• dekorative Beschichtungen