DLC
Engl. diamond like carbon (diamantartiger Kohlenstoff), Kohlenstoffschichten bzw. Kohlenstoffbeschichtung mit besonderen Eigenschaften: hohe Härte, hohe Verschleissbeständigkeit, sehr niedrige Reibwerte (z. B. gegenüber Stahl) und eine sehr gute chemische Beständigkeit. Durch den Einbau weiterer Elemente in das Kohlenwasserstoffnetzwerk einer DLC-Beschichtung kann zusätzlich das Benetzungsverhalten der Schichten in weiten Grenzen variiert werden, Anwendungsgebiete von DLC-Schichten sind zum größten Teil abriebfeste Haft- und Antihaftschichten. DLC-Beschichtungen stellen heute jedoch eine Stoffgruppe von harten, verschleißbeständigen und sehr reibarmen bis hin zu teflonähnlichen Schichttypen für die unterschiedlichsten technischen Anwendungen zur Verfügung. Grundsätzlich unterteilt man kohlenstoffbasierte Schichten in Diamantschichten, wasserstoffreie ta-C-Schichten, wasserstoffhaltige DLC- oder auch a-C:H-Schichten, metallhaltige und damit leitfähige Me-DLC- oder Me-C:H-Schichten und mit nichtmetallischen Elementen modifizierte DLC- oder a-C:H:X-Schichten.
Durch Plasmabeschichtung im PACVD-Verfahren können unter Verwendung von Acetylen C2H2 als Prozessgas DLC-Schichten ohne zu große Temperaturbelastung auch auf Kunststoffe aufgebracht werden.
