Downstream Plasma

Oft wird das Niederdruckplasma in der Behandlungskammer erzeugt. Wenn jedoch nicht gewünscht ist, dass hochaggressive UV-Strahlung auf das Behandlungsgut einwirkt, dann kann das Plasma in einer abgetrennten Kammer erzeugt werden. Radikale und Ionen strömen in die Behandlungskammer, aber die UV-Strahlung ist abgeschirmt.