
Lessico della tecnologia delle superfici
Plasma downstream
Spesso il plasma a bassa pressione viene generato nella camera di trattamento. Se tuttavia non si desidera che la radiazione ultravioletta altamente aggressiva agisca sul materiale da trattare, il plasma può essere generato in una camera separata. Radicali e ioni circolano nella camera di trattamento, ma la radiazione UV è schermata.