Radikale

Radikale entstehen in molekularen Prozessgasen, aber auch auf Substraten, die dem Plasma ausgesetzt sind. Ursache ist insbesondere die ionisierende Wirkung der UV-Strahlung des Plasmas. Diese UV-Strahlung spaltet Molekülbindungen, spaltet also einzelne Atome oder Teile eines Moleküls ab. Beide getrennte Teile haben nun eine unbesetzte Bindung, die sie schnellstmöglich wieder füllen wollen. Sie sind deshalb hochreaktiv, denn sie reagieren sofort mit dem nächsten Teilchen in ihrem Einflußbereich, das zu der offenen Bindung passt.

Solche getrennte Molekülteile mit offener Bindung nennt man Radikale, die offene Bindung Radikalstelle.

Durch Reaktionen und Aneinanderketten von Radikalen können Polymere entstehen, durch Reaktion von Radikalen des Prozessgases und des Substrats entstehen neue Moleküle, die in die Gasphase übergehen und entsprechende Fehlstellen auf dem Substrat hinterlassen. So funktioniert chemisches Plasmaätzen oder auch Plasmareinigen.