
Glossaire de la technologie de surface
Plasma downstream
Le plasma basse pression est souvent généré dans la chambre de traitement. Cependant, si un rayonnement UV hautement agressif n'est pas souhaité sur le produit à traiter, le plasma peut être généré dans une chambre séparée. Les radicaux et les ions circulent dans la chambre de traitement, mais le rayonnement UV est protégé.