Downstream Plasma

плазма низкого давления создается в рабочей камере. Если нежелательно, чтобы сильно агрессивное УФ-излучение воздействовало на обрабатываемый материал, плазму можно создавать и в отдельной камере. Радикалы и ионы поступают в рабочую камеру, но УФ-излучение закрыто экраном.