Downstream Plasma

плазма низкого давления создается в рабочей камере. Если нежелательно, чтобы сильно агрессивное УФ-излучение воздействовало на обрабатываемый материал, плазму можно создавать и в отдельной камере. Радикалы и ионы поступают в рабочую камеру, но УФ-излучение закрыто экраном.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете