CF4 - Tétrafluorométhane
Tétrafluorométhane, connu notamment sous le nom commercial Fréon 14 (Dupont). Le CF4 est un gaz de traitement fréquemment utilisé pour les processus d'enduction par polymérisation plasma. Il sert à générer des surfaces fluorées et en particulier lors de l'épilamisation, à la réalisation d'une surface perfluorée.
Le tétrafluorométhane CF4 correspond à la molécule de méthane dans laquelle les 4 liaisons hydrogène ont été remplacées par du fluor. <br/>Dans le processus plasma, il s'agit d'un gaz de traitement fréquemment utilisé, surtout pour les processus de gravure. Le tétrafluorométhane (CF4, aussi appelé fréon 14) est complètement inerte dans des conditions normales, mais forme des atomes de fluor libres et des radicaux CF2 et CF3 dans le plasma. Ces derniers ont un effet de gravure très fort, par exemple sur le dioxyde de silicium. Des mélanges de CF4 et O2 attaquent environ 5 fois plus vite que l'oxygène pur.
