CF4 - Tetrafluorometano
Tetrafluorometano, noto soprattutto con il nome commerciale Freon 14 (Dupont). Il CF4 è un gas di processo frequentemente utilizzato per processi di rivestimento con polimerizzazione al plasma. Viene utilizzato per creare superfici fluorurate e soprattutto per l’epilamizzazione, ovvero la produzione di una superficie perfluorurata.
Il tetrafluorometano CF4 corrisponde alla molecola di metano in cui tutti e 4 i legami di idrogeno sono stati sostituiti dal fluoro. <br/>Nei processi al plasma è un gas di processo largamente utilizzato, soprattutto nei processi di acidatura. Il tetrafluorometano (CF4, denominato anche 14) è completamente inerte in condizioni normali, ma nel plasma crea atomi di fluoro libero e radicali di CF2 e CF3. Essi hanno un effetto di acidatura molto forte, ad esempio sul diossido di silicio. Le miscele di CF4 e O2 incidono con una velocità circa 5 volte superiore a quella dell'ossigeno puro.
