CF4
Tetrafluorometano, noto soprattutto con il nome commerciale Freon 14 (Dupont). Il CF4 è un gas di processo frequentemente utilizzato per processi di rivestimento con polimerizzazione al plasma. Viene utilizzato per creare superfici fluorurate e soprattutto per l’epilamizzazione, ovvero la produzione di una superficie perfluorurata.
